ማስቀመጥ
ግንዛቤዎችን ያግኙ እና የእድገት ሂደቱን ያፋጥኑ።
የላቀ ኢነርጂ የኃይል አቅርቦትን እና የቁጥጥር መፍትሄዎችን ለወሳኝ ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ አፕሊኬሽኖች እና የመሳሪያ ጂኦሜትሪዎች ያቀርባል።የዋፈር ማቀነባበሪያ ፈተናዎችን ለመፍታት የእኛ ትክክለኛ የሃይል ልወጣ መፍትሄዎች የኃይል ትክክለኛነትን፣ ትክክለኛነትን፣ ፍጥነትን እና የሂደት ተደጋጋሚነትን እንዲያሳድጉ ያስችሉዎታል።
የሂደቱን ፕላዝማ በተሻለ ሁኔታ ለመቆጣጠር የሚያስችል ሰፊ የ RF ፍሪኩዌንሲዎች ፣ የዲሲ የኃይል ስርዓቶች ፣ ብጁ የኃይል ውፅዓት ደረጃዎች ፣ ተዛማጅ ቴክኖሎጂዎች እና የፋይበር ኦፕቲክ የሙቀት መቆጣጠሪያ መፍትሄዎችን እናቀርባለን።የሂደቱን ግንዛቤ ለማቅረብ እና የእድገት ሂደቱን ለማፋጠን ፈጣን DAQ™ እና የእኛን የውሂብ ማግኛ እና ተደራሽነት ስብስብ እናዋህዳለን።
ለፍላጎትዎ የሚስማማውን መፍትሄ ለማግኘት ስለ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደታችን የበለጠ ይወቁ።
የእርስዎ ፈተና
የተቀናጁ የወረዳ ልኬቶችን ለመንደፍ ጥቅም ላይ ከሚውሉት ፊልሞች እስከ ተቆጣጣሪ እና መከላከያ ፊልሞች (ኤሌክትሪክ መዋቅሮች) ፣ የብረት ፊልሞች (መገናኛ) ፣ የማስቀመጫ ሂደቶችዎ የአቶሚክ ደረጃ ቁጥጥር ያስፈልጋቸዋል - ለእያንዳንዱ ባህሪ ብቻ ሳይሆን በጠቅላላው ቫፈር ላይ።
ከራሱ መዋቅር ባሻገር፣ የተቀመጡት ፊልሞችዎ ከፍተኛ ጥራት ያላቸው መሆን አለባቸው።የሚፈለጉትን የእህል መዋቅር፣ ተመሳሳይነት እና የተመጣጠነ ውፍረት እና ባዶ-ነጻ መሆን አለባቸው - እና ይህ አስፈላጊ የሆኑ ሜካኒካዊ ጭንቀቶችን (የመጨመቂያ እና የመሸከም) እና የኤሌክትሪክ ንብረቶችን ከመስጠት በተጨማሪ ነው።
ውስብስብነት መጨመር ብቻ ይቀጥላል.የሊቶግራፊ ውስንነቶችን (ንዑስ-1X nm ኖዶችን) ለመፍታት፣ በራስ የተጣጣሙ ድርብ እና ባለአራት ጥለት ቴክኒኮች በእያንዳንዱ ዋፈር ላይ ስርዓተ-ጥለትን ለማምረት እና ለማባዛት የማስቀመጫ ሂደትዎን ይጠይቃሉ።
የእኛ መፍትሄ
በጣም ወሳኝ የሆኑ የማስቀመጫ አፕሊኬሽኖችን እና የመሣሪያ ጂኦሜትሪዎችን ሲያሰማሩ፣ አስተማማኝ የገበያ መሪ ያስፈልግዎታል።
የላቀ የኢነርጂ RF ሃይል አቅርቦት እና የከፍተኛ ፍጥነት ማዛመጃ ቴክኖሎጂ ለሁሉም የላቁ የPECVD እና PEALD ማስቀመጫ ሂደቶች የሚያስፈልገውን የኃይል ትክክለኛነት፣ ትክክለኛነት፣ ፍጥነት እና የሂደት ተደጋጋሚነት እንዲያበጁ እና እንዲያሳድጉ ያስችልዎታል።
የእርስዎን የሚዋቀር ቅስት ምላሽ፣ የሃይል ትክክለኛነት፣ ፍጥነት እና የሂደት ተደጋጋሚነት የሚፈለገውን PVD (ስፕቲንግ) እና የኢሲዲ የማስቀመጫ ሂደቶችን ለማስተካከል የእኛን የዲሲ ጀነሬተር ቴክኖሎጂ ይጠቀሙ።
ጥቅሞች
● የተሻሻለ የፕላዝማ መረጋጋት እና የሂደቱ ተደጋጋሚነት ምርትን ይጨምራል
● ትክክለኛ የ RF እና DC መላኪያ ከሙሉ ዲጂታል ቁጥጥር ጋር የሂደቱን ውጤታማነት ለማመቻቸት ይረዳል
● ለፕላዝማ ለውጦች ፈጣን ምላሽ እና አርክ አስተዳደር
● ባለብዙ-ደረጃ ምታ በተለዋዋጭ ፍሪኩዌንሲ ማስተካከያ የኢትች ፍጥነት ምርጫን ያሻሽላል
● ከፍተኛውን የሰአት እና የምርት አፈጻጸም ለማረጋገጥ አለም አቀፍ ድጋፍ ይገኛል።